X'inhu l-element tal-laser tal-linja għall-ispezzjoni tal-wejfer?

Fl-industrija tas-semikondutturi, difetti tal-wiċċ estremament żgħar u partiċelli huma problema kbira, li tista 'tnaqqas ir-rendiment u tikkonsma l-ħin u l-ispiża tal-produzzjoni. Għalhekk, l-iskoperta ta 'difetti u kontaminazzjoni fuq l-uċuħ tal-wejfer tas-semikondutturi hija kritika, sfida li jiffaċċjaw ħafna klijenti fl-industrija tal-metroloġija tas-semikondutturi. Wieħed mill-metodi veloċi u kost-effettivi għall-ispezzjoni tal-wiċċ tal-wejfer huwa li tuża l-illuminazzjoni tal-linja tal-laser u l-mikroskopija ta 'kamp skur/bright biex tiskopri difetti, tipikament taħt il-100nm f'tul ta' mewġ ultravjola fond (DUV). F'dan il-metodu, Holoor juri li meta l-linja tiġi skennjata b'mod radjali, il-wejfer idur, u toħloq żona kbira ta 'kampjunar tal-wejfer, li tista' tnaqqas il-ħin tal-iskannjar. Peress li l-biċċa l-kbira tal-lejżers ultravjola u ultravjola fil-fond m'għandhomx profil tal-output tal-linja, aelement tal-laser tal-linjaspiss jintuża biex jifforma l-lejżer f'forma ta 'linja.

Rekwiżiti għall-użu ta 'elementi ottiċi tal-laser tal-linja fl-ispezzjoni tal-wejfer tas-semikondutturi

Ir-rekwiżiti għall-iskoperta tad-difetti tal-wejfer bl-użu ta 'linji tal-laser f'tul ta' mewġ ultravjola profonda huma stretti ħafna - ħafna drabi jridu jkunu linji twal ħafna (> 10mm), filwaqt li jżommu l-linja tal-lejżer. 10um wisa 'dejqa u uniformità eċċellenti. Għall-mikroskopija tal-kamp skur, il-linja tal-lejżer jeħtieġ li tiġi proġettata fuq il-wejfer f'Angolu ta 'ragħa filwaqt li tibqa' ffukata sewwa fuq tul ta 'linja twil ħafna. Linji bħal dawn normalment ma jistgħux jinkisbu minn element ottiku diffrattat wieħed, bħal omoġenizzatur lineari, minħabba li jipproduċu speckles fuq laser b'modalità waħda, filwaqt li laser multimode ma jistax jiffoka għal linja stretta f'fond raġonevoli ta 'fokus.

Dan it-tip ta 'prestazzjoni teħtieġ l-ottika ta' preċiżjoni għolja li tifforma raġġ ta 'Holoor biex tiġġenera linji tal-lejżer biċ-ċarezza tat-tarf mixtieqa, uniformità, wisa' u tul. Din il-preċiżjoni tista 'spiss tinkiseb permezz ta' ottika diffrattiva jew ottika ta 'forma ħielsa.

Metodu tal-iffurmar tar-raġġ għall-iskoperta tad-difetti tal-wejfer

Ir-rekwiżiti stretti għall-moduli tal-laser lineari jindikaw li hemm diversi soluzzjonijiet possibbli għall-isfidi tal-iffurmar tar-raġġ, li kollha jeħtieġu sistemi ottiċi ta 'rifrazzjoni diffrattiv jew b'forma libera b'komponenti b'ħafna komponenti.

Għal każijiet tipiċi b'tulijiet ta' linji fil-medda ta' 10-20mm, laser ultravjola profond b'mod wieħed jipprovdi qawwa suffiċjenti għall-iskoperta. Din is-sitwazzjoni teħtieġ iffurmar tar-raġġ ta 'fuq ċatt ta' elementi multipli, fejn l-ewwel element jipproduċi linji u l-aħħar element fis-sistema huwa simili għal lenti ottika diffrattiva, użata biex tikkollimaw il-linji u tiffokahom fuq l-assi veloċi u bil-mod. Għal linji twal ħafna, normalment ikun >50mm, lejżers DUV b'mod wieħed rarament ikollhom qawwa għolja tal-lejżer. Għalhekk, għandu jintuża laser multimode, li jeħtieġ trasformazzjoni M2 biex tiffoka fuq il-linja dejqa. Dan jista 'jinkiseb billi tgħaqqad soluzzjonijiet ta' diffrazzjoni bħal Leanline ma 'omoġenizzaturi tal-linja biex jipproduċu uniformità tajba. Elementi ottiċi diffrattivi tal-ispliters tar-raġġ tal-lejżer jistgħu jintużaw biex jiġġeneraw linji fokali bl-istess intensità. Il-linja tintuża biex tiskennja tul mogħdija radjali fil-wejfer, li tippermetti skoperta ta 'difetti b'riżoluzzjoni għolja b'qawwa tal-laser aktar baxxa. Dan jiġi għall-ispiża li titnaqqas il-veloċità tal-iskannjar, peress li ż-żona immaġni f'kull ħin partikolari hija iżgħar b'mod sinifikanti.

Vantaġġi meta jintuża bħala element ewlieni tal-iffurmar f'elementi tal-lejżer in-line L-ottika diffrattiva toffri bosta vantaġġi ewlenin fit-tiswir ta' lejżer f'linja (jew linji) għal applikazzjonijiet esiġenti bħall-kejl tal-wejfers:

1. L-elementi ottiċi diffrattivi għandhom preċiżjoni angolari kważi assoluta - dan huwa kruċjali meta distanzi preċiżi jeħtieġ li jitkejlu, bħal f'applikazzjonijiet ta 'metroloġija ta' preċiżjoni.

2. L-elementi ottiċi diffrattivi għandhom LDT għoli (limitu ta 'ħsara), u l-elementi ottiċi Doe huma ġeneralment elementi ċatti, sabiex ikunu jistgħu jiġu integrati direttament f'sistemi b'ħafna komponenti.

L-elementi ottiċi 3.DOE jistgħu jgħaqqdu funzjonijiet multipli fuq wiċċ wieħed. Pereżempju, splitter tal-linja tal-lejżer jista 'jintuża flimkien ma' diffużur tal-linja biex jiġġenera linji multipli, li jippermetti skoperta ta 'difetti b'ħafna kanali (li tippermetti lill-pixels f'ditekter lineari "jistrieħ" mingħajr illuminazzjoni ultravjola profonda).

4. L-ottika tal-iffurmar tar-raġġ tal-lejżer ibbażata fuq elementi ottiċi diffrattivi għandhom sensittività termali baxxa ħafna, kważi l-ebda lenti termali, anke defocus żgħir se jagħmel ħsara lill-prestazzjoni, għalhekk huwa partikolarment adattat għall-iffurmar tal-linja tal-laser dejqa.

Mistoqsija u Tweġiba:

1. Kif jistgħu jintużaw il-komponenti tal-laser tal-linja għall-iskoperta tad-difetti tal-wejfer?

Fl-ispezzjoni tal-wejfer, raġġi ultravjola fil-fond jew linji spot huma użati bħala sorsi ta 'illuminazzjoni biex tinkiseb riżoluzzjoni. Mikroskopija ta 'kamp qawwi jew skur b'riżoluzzjoni għolja ta' 100nm. Il-linja hija ġġenerata minn element tal-laser tal-linja jew splitter tal-linja tal-laser.

2. X'inhuma l-isfidi tat-tiswir tal-linja tal-lejżer fl-ispezzjoni tal-wejfer?

L-applikazzjonijiet metroloġiċi bħall-iskoperta tad-difetti tal-wejfer jeħtieġu saħħa uniformi ħafna ta 'assi twila (＞10mm), filwaqt li normalment tkun meħtieġa. Linja dejqa 10um biex tinżamm riżoluzzjoni għolja ta 'skoperta ta' difetti. Truf li jaqtgħu huma meħtieġa wkoll, u fil-mikroskopija tal-kamp skur, il-linji jeħtieġ ukoll li jiġu pproġettati f'Angolu ta 'ragħa għoli filwaqt li xorta jżommu l-attenzjoni stretta tagħhom.

3. Liema metodi ta 'formazzjoni tar-raġġ jintużaw għall-iskoperta tad-difetti tal-wejfer?

Post lineari tipiku huwa sistema b'ħafna komponenti li tipproduċi linja dejqa b'wiċċ ċatt u kollimat iffukata fuq il-wiċċ. Alternattivament, splitter tal-lejżer jista 'jipproduċi linja ta' dawl li mbagħad tista 'tiġi skennjata b'mod radjali waqt li ddawwar il-wejfer. Linji itwal jeħtieġu qawwa tal-lejżer ogħla, li tista 'tinkiseb biss b'lejżers b'ħafna modi. Għalhekk, l-element ottiku ta 'ġeneratur tal-linja tal-laser ġeneralment jinkludi komponent ta' konverżjoni M2 li jippermetti li l-linja tkun iffukata sewwa fuq assi wieħed filwaqt li tagħmilha aktar uniformi fuq it-tieni assi, segwit minn folja ta 'livellar tal-linja u element ottiku li jiffoka.

4. X'inhuma l-vantaġġi ta 'komponenti ottiċi diffrattivi għal moduli tal-laser lineari?

Il-modulu tal-laser tal-linja tad-diffrazzjoni jipprovdi preċiżjoni angolari kważi assoluta, parametru ewlieni meħtieġ biex jistabbilizza l-proċess tal-metroloġija. Għandhom ukoll limiti ta 'ħsara ċatti u għoljin, u l-abbiltà li jintegraw ottiċi multipli fuq wiċċ wieħed, li jagħmluhom ideali għal sistemi b'ħafna komponenti li joperaw b'DUVs ta' qawwa għolja.

Dettalji ta 'kuntatt:

Jekk għandek xi ideat, tħossok liberu li tkellem magħna. Ma jimpurtax fejn il-klijenti tagħna u x'inhuma r-rekwiżiti tagħna, aħna se nsegwu l-għan tagħna li nipprovdu lill-klijenti tagħna kwalità għolja, prezzijiet baxxi, u l-aħjar servizz.